使用碳化硅燒結爐爐前需進行全面準備工作，具體流程如下：

一、設備與系統(tǒng)檢查

爐體結構檢查

       確認爐膛無裂縫、變形或腐蝕，耐火磚/保溫層完整無損，清除爐內殘留異物或積灰。

       檢查爐門密封膠帶彈性及密封性，確保關閉后無漏氣。

加熱與冷卻系統(tǒng)

       驗證加熱元件（如硅碳棒、鉬絲）無氧化斷裂，冷端伸出爐墻50–150mm且安裝孔尺寸合規(guī)。

       啟動水泵測試冷卻水循環(huán)，水壓穩(wěn)定且無堵塞/泄漏，純水系統(tǒng)流量達標。

真空與氣氛系統(tǒng)

       測試真空泵皮帶張緊度及油位，手動盤車無卡滯后啟動，冷態(tài)真空度需≤10Pa。

       檢查氣體管路（氫氣/氮氣/惰性氣體）閥門靈活性，壓力表、流量計校準準確，無泄漏風險。

二、安全防護措施

氣體操作規(guī)范

       使用氫氣前需通氮氣徹底置換爐內空氣，防止爆炸；點火燒除排氣管殘留氣體。

       配備氣體泄漏檢測儀，操作區(qū)安裝防爆通風設施及滅火器材。

防護與應急

       操作人員穿戴耐高溫手套、護目鏡及防護服，持證上崗并完成安全交底。

       驗證安全聯(lián)鎖裝置（如超溫斷電、壓力報警）功能正常，制定泄漏/火災應急預案。

三、物料與工藝準備

原料與裝爐

       碳化硅坯體需清潔干燥，按燒結要求選擇適配載具（燒舟/坩堝），變形燒舟需液壓整形。

       大型制品采用整體裝爐，預留熱膨脹空間，避免卡爐。

工藝參數設定

       在控制系統(tǒng)中預存多段溫控曲線（升溫速率/保溫時間），溫度均勻性校準至±5℃內。

       燒結氣氛壓力設定需匹配材料類型（如反應燒結需10–20MPa氬氣）。

四、能源與測試驗證

能源系統(tǒng)確認

       檢查電源電壓穩(wěn)定性（中頻電源需750V防護），壓縮空氣壓力符合工藝要求。